超声波硅片清洗机的设计与清洗效率优化研究

摘要

针对超声波硅片清洗机设计与清洗效率的优化困境，提出一套基于超声波技术的清洗机系统 优化方略，本文对超声波频率、功率和清洗液物理化学特性影响清洗效率的情况展开分析，搭建清洗 效率的数学模型，并借助遗传算法及粒子群优化算法对关键参数开展优化配置。优化过后的系统在维 持清洗效率切实降低了能源耗费，提升设备的性能水平，经过优化的清洗机可高效去除硅片表面的微 小颗粒，降低能源的无谓浪费，提高设备使用寿期，此研究为超声波清洗设备的优化设计赋予了新的 思路和方案。