基于数字孪生的半导体研发全流程进度管控与优化

摘要

针对半导体研发流程周期长、环节耦合度高、进度扰动因素复杂等问题，提出基于数字孪生（Digital Twin，DT）的研发全流程进度管控与优化方案。通过构建物理实体与虚拟模型的实时映射机制，整合研发过程中的设备数据、工艺数据与进度数据，建立多维度进度管控模型；引入改进型关键路径法与粒子群优化算法，实现进度偏差预警与资源动态调度。以12nm逻辑芯片研发项目为验证案例，搭建数字孪生管控平台，结果表明：该方案可将研发进度偏差率降低至3.2%以下，关键环节响应速度提升40%，资源利用率提高25%，为半导体研发流程的精益化管理提供技术支撑。