超快激光在多晶硅还原炉的应用技术优化研究

丽梅 王

摘要


本文系统研究了超快激光在多晶硅还原炉工艺中的应用，探讨了超快激光特性、与多晶硅材 料的相互作用及其能量控制对材料去除效果的影响。基于实验和参数优化，超快激光在提升还原炉的 清洁效率和材料纯度方面展现出显著优势。通过激光辅助加热及表面处理技术的应用，进一步优化了 还原工艺，降低了能耗，提高了生产效率。

关键词


超快激光，多晶硅还原炉，材料去除，激光参数优化

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参考


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DOI: https://doi.org/10.12238/jpm.v5i12.7533

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